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FEI的insepct 50 泵停的故障修复

小不董

2013/12/26
药物分析

扫描电镜（SEM/EDS）

FEI的insepct 50，在使用快一年了，场发射仪器比钨灯丝电镜使用起来要方便些，不用每天开机关机，但需要长开机，不能停电，否则真空度不够，需要干燥，就麻烦了。总体比以前的6360LV好用多了。

但也有遇到过问题，比如说某天发现真空泵停了，有时发现在放样品进去的时候，一次抽真空不能完成，出现故障。

显示如下：

遇到这个情况，很郁闷，怎么回事呢？

咨询工程师，工程师说可能是一个预过滤器脏了，因为pump是可以开起来的。pump没坏，但观察其CCG1，转速是能上升，而且也能达到99%。但提示有，

14:11:45.078 Vacuum in the electron source is insufficient to run the emission

14:14:37.828 Read-out pressure underflow of IGP1

14:14:37.828 Read-out pressure underflow of IGP2

14:14:48.359 Vacuum in the electron source has been recovered

11:08:58.046 Read-out pressure overflow of CCG1

11:14:39.671 The client requested the pressure using method GetPressure for element CCG1 but this isn't valid because its

either disabled or not connected.

14:56:51.187 Read-out pressure underflow of CCG1

14:56:56.343 The Gauge CCG1 has been disconnected or didn't start to measure.

09:29:49.156 The client requested the pressure using method GetPressure for element CCG1 but this isn't valid because its

either disabled or not connected.

居然判断是预过滤脏了，解决不外就更换或将他脏了的东西清理了，先将sever关闭：

然后打开仪器侧板，每台仪器的预过滤器位置是不一样的，找了半天，才发现他藏在样品仓下面。给个写真吧。

就是这个红圈的东东。上面是一个卡酷固定，下面接的数据，电源线，电源线需要用螺丝刀才能取下。

拆下来后，再一个写真：

上图中，轻轻的在A4纸上嗑，有些黑色的脏屑出来，再用洗耳球吹吹，照片照出来不清晰，本想用电镜观察下，再想本来就是电镜里的，若固定不好，又到那里去了咋办呢，就作罢。

再将预过滤器安装上去。卡酷一定旋紧，否则漏气了，也抽真空抽不到。

开启sever，打开UI，pump正常了。

分
该帖子已被版主-小M加15积分，加2经验;加分理由:好作品，好原创

相关话题

小M

第1楼2013/12/27

应助达人

那个是CCG1不是CGG1

0

小不董

第2楼2013/12/27

应助达人

小M的眼睛果然火辣，不用电镜就轻轻看到错误了。
小M(mitchell_dyzy) 发表:那个是CCG1不是CGG1

0

小M

第3楼2013/12/27

应助达人

因为我们电镜上也有这个啊，原来也出过问题，所以一看就知道是什么啦我平时也兼职一些校对的工作哦
小不董(doxw0323) 发表:小M的眼睛果然火辣，不用电镜就轻轻看到错误了。

0

kch031

第4楼2013/12/30

这不是真空规吗？

0

unht

第5楼2014/01/02

这个我们也出过几次问题之后干脆换新的了、、、

0

wulin321

第6楼2014/01/03

应助达人

就怕这个，看不太懂外文

0

小不董

第7楼2014/01/03

应助达人

多看看就熟悉了，电镜不都是英文的占绝大部分吗
wulin321(wulin321) 发表:就怕这个，看不太懂外文

0

wulin321

第8楼2014/01/03

应助达人

我们没有这个东西挺贵的吧
小不董(doxw0323) 发表:多看看就熟悉了，电镜不都是英文的占绝大部分吗

0

奉天虫虫

第9楼2014/04/14

潘宁规你抛光吧？你拿钨灯丝和热场比能比吗？价格原理都不一样搞笑

0

奉天虫虫

第10楼2014/04/14

实际做潘宁规清洗很简单的

0

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