扫描电镜的减震方法？

机械减震：一般是指减震介质通过物理变化，一个是改变密度（质量不变体积缩小），比如海绵，一个是改变形状（伸缩）=弹簧。是没有阻尼的减震。
气垫减震：其实应该是通过受力产生气压导致橡胶垫变形减弱振动，好一点的是通过气浮来充气放气调节平衡衰减振动，是有阻尼的减震。
主动减震：比如：江西连胜的主动隔振系统，就是以隔振条的方式作为基本的支撑；同时配以传感器、控制电路和作动器，共同组成精密主动控制隔振系统。对于微小振动，则由传感器采集平台六个自由度的振动信号输入控制器，由其作出迅速有效的信号处理，以控制作动器，使其提供与平台残余振动大小相等、方向相反的力。 对振动干扰进行补偿。系统在1HZ之前开始隔振，随着频率的增加，振动迅速衰减，在10HZ的时候可以达到35Db的衰减，提供了很好的隔振性能。完全满足最高端的电镜使用。是有作动器的减震。
所以，机械减震和气垫减震一般是个针对高频振动，隔振等级最高达到VC-D；主动隔振针对低频振动，隔振等级能达到VC-E，3μm，
它们的区别就在于有没有阻尼以及作动器。