打能谱最大放大多大倍数，打得比较准？

asahi42 2014/04/10

打能谱准不准，其实和放大倍数关系不大。合适的放大倍数只是为了让SEM图像去和能谱激发范围相匹配。能谱区域准确与否的依据是当前参数下样品X射线激发范围是不是和样品特征点/区域大小相匹配，能谱定性定量准确与否主要看过压比是不是出于目标元素目标线系的2.5~3倍。 这个激发范围和加速电压/束斑/样品原子序数关系非常密切，有一个软件貌似叫“蒙特卡洛模拟”的，可以模拟出各参数下的X射线激发范围。通过这个模拟出的激发范围，再看看需要打能谱的特征点是不是有那么大。如果激发范围比特征点体积或者面积大太多，那不管什么放大倍数基本都是打不准的。

sept 2014/04/13

[quote]原文由 [b]胖胖熊(v2719209)[/b] 发表: [quote]原文由 [b]asahi42(asahi42)[/b] 发表: 打能谱准不准，其实和放大倍数关系不大。合适的放大倍数只是为了让SEM图像去和能谱激发范围相匹配。能谱区域准确与否的依据是当前参数下样品X射线激发范围是不是和样品特征点/区域大小相匹配，能谱定性定量准确与否主要看过压比是不是出于目标元素目标线系的2.5~3倍。 这个激发范围和加速电压/束斑/样品原子序数关系非常密切，有一个软件貌似叫“蒙特卡洛模拟”的，可以模拟出各参数下的X射线激发范围。通过这个模拟出的激发范围，再看看需要打能谱的特征点是不是有那么大。如果激发范围比特征点体积或者面积大太多，那不管什么放大倍数基本都是打不准的。[/quote] 束斑跟空间分辨的关系是什么？求指教？[/quote] 同spot size和probe current相比，加速电压对空间分辨率影响更大。也就是说，希望空间分辨率高，可以降低加速电压，但如果此时计数率太低，可以提高束流。虽然也会影响空间分辨率，但影响的程度会小于加速电压的。另外还需要考虑样品类型，密度越高的扩展也越少等等。

小不董 2014/04/10

选择面扫还是点扫描？ 扫描的范围小点代表性是否就小点。也看你研究的方向吧