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【分享】请教一个关于偏压的问题
miumiu
2007/07/26
私聊
扫描电镜(SEM/EDS)
电子枪偏压是不是调节束流的作用?电压一定,偏压过小,造成束流浪费,偏压大的话,束流也会比较大。但束流过大后,是不是束斑直径也会增大呢?
双偏压从图上看是,在一个低电压时,突然增大偏压,使束流比较大,图像比较亮,也因此比较清晰,由此推断是增大了偏压,但是突然增大偏压会不会造成分辨率下降呢?
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