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用STEM做EDX的时候得到的counts数太少

  • easy周周
    2014/06/24
  • 私聊

透射电镜(TEM)

  • 想做个EDX mapping, 但是样品比较大直径在150nm, probe size 是0.5 nm 如果扫很多点的话 需要几个小时, 但是如果选少量的点有很多样品有没有扫到,采集时间如果过长3s以上会使样品打穿,但是依旧得到的counts数不够。 还没有试过defocus或者增大convergence angle 把probe size变大,这样的话分辨率会变差但是得到信号会多么?还是可以用其他什么方法? 大牛们请指点下。
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  • 洪星二锅头

    第1楼2014/06/25

    要改变计数率,需改变convergence angle α和 spot size,而如defocus,改变焦距,同样使得照在样品上的束斑尺寸发生改变,建议还是使用spot size比较好

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  • penguinle

    第2楼2014/06/25

    加大condenser aperture,加大spot size,如有需要向探头倾转样品

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  • 大布口袋

    第3楼2014/06/25

    最极端的做饭 可以再提高Extraction Voltage

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  • easy周周

    第4楼2014/06/25

    忘了说了用的电镜是FEI Titan,已经提高了Extraction Voltage 在4200吧有点记不清了,然后用的spot size是3 束流应该是最大的了,然后样品已经倾转了。。我用的是他们这边人已经合轴好的设置比较方便,是不是只能自己用microprobe去调α角了,然后再自己合合轴了。

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  • wjianna

    第5楼2014/07/10

    楼主的问题我有同感!我的感觉,增大计数率最有效的是改变spot增强信号,但是,spot增大了相差也增加,电子束斑直径也增大了,EDS的空间分辨率要受到影响,如何调和这几方面的矛盾?
    还有就是电子束损伤,我发现即使在无机非金属上也是一打一个洞!

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