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日立S－4700用户请进

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 请问各位S－4700用户，你们有没有发现在换样品时，样品交换室里有油烟味？我们这里的一台S－4700用了两年了，最近半年换样品时，总是能闻到样品交换室里比较大的油烟味，换了机械泵油之后，问题依旧。工程师过来也查不出什么毛病，不知道这样时间久了，会不会影响电镜分辨率？
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    +关注 私聊

  • 常怀千岁忧

    第1楼2006/10/17

    机械泵本身的问题吧，换油没有用处的。filter是不是脏了？
    这样下去的话，多少会造成污染。

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  • open_lab

    第2楼2006/10/18

    请问楼上也用s4700吗？
    工程师过来检查过，说泵没什么问题。而且说北京的几家4700也有类似的情况，不过轻微一些。我是西安的，不知道其他4700是否真的存在这种情况？如果有，那就是镜子本身问题，如果没有，那还要接着差我们自己的问题。

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  • pengbo0715

    第3楼2007/01/23

    没有发生过，是不是漏油了？

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  • 常怀千岁忧

    第4楼2007/01/24

    LEYBOLD的泵本身就有这个问题

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  • l_feier

    第5楼2007/06/05

    应该是OIL pump
    的味道

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