驰奔
第5楼2016/03/20
是电子枪发射电流每小时的偏差。按说应该是末级探针电流每小时的偏差,但需要专门装置,对终端用户来说,监测一下电子枪发射电流就可以了。
这个指标对扫描电镜日常形貌观察没啥意义,如束流稳定性,每分钟甚至每秒都能变化1%,就没法用了,冷场电子枪flash前后,可能感觉很深刻。
对于现代扫描电镜配套的SDD探测器能谱仪,做一个点分析也就几秒钟完事了。你要把谱图做的非常漂亮,做的非常精细也就几分钟,正常情况下没啥影响。
但是,如果做扫描电镜SEM波谱WDS,尤其元素面分布,那就有意思了,因为做一个分析,可能需要几个小时。如果束流飘移量超过一定程度,前后结果可能就不同了。