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单晶体硅的铝扩散层拍摄求助

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 样品情况:单晶体硅,表面一层铝粉,铝粉融入硅晶体会形成硅铝层,与正常硅层有界限。那么问题来了,同样的样品我死活拍不出分层来。电镜6360LV。 附件是我拍的的别人拍的
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  • fengyonghe

    第1楼2016/04/10

    把你拍的也发上来

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  • UNM

    第2楼2016/04/10

    应助达人

    考虑下是不是备样的问题?
    这个好像是横截面

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  • m3095845

    第3楼2016/04/11

    上面一张是我拍的,下面一张是别人拍的。样品是截面。颗粒状的是铝粉,最下面层是硅,中间是硅铝合金层。

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  • fengyonghe

    第4楼2016/04/12

    你的样品没有渗层,扩散工艺有问题

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  • 轩尼斯

    第5楼2016/04/12

    确定是没有渗透层么?
    你的意思是说样品原本就没有,不是拍摄参数的问题?

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:你的样品没有渗层,扩散工艺有问题

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  • skyhunter

    第6楼2016/04/22

    图像挺清晰的,跟电镜和操作没什么关系吧?感觉还是样品本身的原因。

    轩尼斯(v2944976) 发表: 确定是没有渗透层么?
    你的意思是说样品原本就没有,不是拍摄参数的问题?

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  • wildonkey

    第7楼2016/04/23

    别人用的5kv,对比度比较大。 你的工作电压是多少? 对比度增大些试试?

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  • xplg235689

    第8楼2016/07/27

    加速电压改下试试,信号采集模式变一下

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