XRD谱图分析

应助达人

附件还在审核中，暂时还不能下载，看不到。
找个带有薄膜附件的XRD仪器做一下看看。这种薄膜附件可以避开衬底的影响。
另外，56°的峰你确定是Si衬底的峰？Cu靶的话Si在56.1°确实有个峰，不过那是（311）面的衍射峰。你用的衬底是Si的哪个面？（100）面比较常见吧，如果是100面，则69.1°的峰时(400)峰，就是Si的100的4级衍射峰

了解一下

应助达人

请看清楚人家的文件里用的是2Theta 掠入射扫描，不是对称扫描
在Omega=3度，2Theta=56.27度时，衍射矢量方向与薄膜法线夹25.14度。这与（311）和（100）的二面角近似一致。
建议楼主把Phi转个10度再扫，如果这个尖峰强度下降，那就可以确定这是Si的311峰
如果想要去掉这个基底的尖峰，建议用Omega更小的掠入射扫描

啊 谢谢了 最近在忙着镀膜，我后天会再去测一次，到时候我会带着个硅片去扫一下看看。