哪里可以找到模拟电子束作用于样品上的深度的软件

由我自己来回答这个问题，经过半天的搜索，得到一些线索：
casino是比较经典的Monte Carlo 模拟软件，用来模拟电子在固体中的作用。包括背散射电子的统计分布，能量损失，电子束作用深度等。还有一个扩展软件叫作Win X-Ray，用来模拟EDS能谱以及不导电样品的放电等。

以上两个软件均是免费的，其下载地址分别为：

http://www.gel.usherbrooke.ca/casino/download.html

http://montecarlomodeling.mcgill.ca/

希望以上信息对需要使用这样软件的同行有帮助。

牛津Inca软件的帮助系统里就有啊。电子图像上点右键也有模拟的区域大小。

下载了，很有用。谢谢。