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使用SEM背反射功能查看IMC

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我做半导体封装的焊线,目前我们厂引进用SEM背反射来看IMC,但是发现以前用光学查看很好的情况,用新的方法来看的话就非常差,想问一下,这和合金厚度有关系吗
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  • 一颗蒲公英

    第1楼2017/06/02

    不是。。。这跟你BSD的性能有关系。好的BSD,IMC层可以看的很清楚的。

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  • 一颗蒲公英

    第2楼2017/06/02


    IMC层,从上往下,可以看到5层差异!

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  • 驰奔仪器

    第3楼2017/06/04

    一颗蒲公英(v3009733) 发表:
    IMC层,从上往下,可以看到5层差异!

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  • wildonkey

    第4楼2017/06/18

    用的是哪家电镜? 什么类型的bse探头?

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  • 一颗蒲公英

    第5楼2017/06/20

    飞纳电镜,我只知道是四分割的背散射探头。

    wildonkey(wildonkey) 发表:用的是哪家电镜? 什么类型的bse探头?

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