ACD开启，真空度变差

按道理ACD后，阀门不应该开开停停，ACD开了以后，离子泵关闭，扩散泵长抽镜筒，加热烘烤冷阱，待烘烤完毕然后再将ACD按灭，基本程序是这样的 你讲的ACD开了后阀门还处于不停开关的状态是不对的，再有ACD的时候你怎么把样品杆插进去的，这个时候是不能够抽样品室真空的，我很纳闷。是不是你又按别的东西了。

谢谢关注。我没说清楚。
刚开启ACD后，真空度掉了，阀不会开关。ACD加热完事后，真空度上不去，阀不停开关。

那就ACD多开会，让扩散泵多抽会，应该就没问题了，还有问题可以打电话 18660131615小孙

谢谢哈。
我感觉哪里有漏气的地方。
湿度挺高，会不会是原因？？

是不是电子阀门有问题，上次是怎么解决的

湿度应该不是原因，个人感觉应该不是大问题。

重启两次才变好。这次无液氮下试了ACD加热，之后还是不行。还是重启解决的。

恩。
这个现象是，计划停电完全停机，来电后开启出现的。 停机是另一个人做的，

停机再开机，对于场发射来说怎么也要两三天，所以不用着急，抽真空是个很缓慢的过程，急不得的。但有个疑问是，你们没有UPS吗？场发射应该可以关掉其他的部分而不停离子泵的操作的。这样真空保持的还会好，为什么不这么做。大的UPS可以提供离子泵24-48小时工作甚至更久，这么大型的设备尽量不要停机的好。