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请教STEM-Z衬度像和EDX分析

liqun1983

2017/08/24

透射电镜（TEM）

对TEM分析是门外汉，想请教大贤几个问题：
（1）图中的高分辨z衬度像是原子像吗，亮斑对应的是什么？有文献说，z衬度像强度与原子序数平方成正比，DigitalMicrograph怎么读出图片的强度？

（2）利用EDX分析Al_xGa_(1-x)N合金中的Al、Ga摩尔比（已知实际Al、Ga摩尔比是2:8），EDX结果纵轴是atom%，这个百分比是什么意思呢，而且EDX对轻原子不准确，能从曲线中确定Al、Ga摩尔比呢？

谢谢大家，感激涕零！

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dingdangyu1030

第1楼2017/08/27

粗略的说，高分辨z衬度像是原子像。亮斑对应的是原子柱的投影势强度。edx的结果是分析区域里面某种元素的含量。

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