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【转帖】MBE的超高真空环境

其他仪器综合讨论

  • 分子束外延生长的环境是基础条件，常年维持在10－10托,这与它的生长方式直接相关，因为分子是一层层铺上去的，外来原子将与它争夺晶格位置而造成污染,直接影响晶体质量。在分子束外延设备中采取了生长，预处理及进样三真空室的基本结构来减缓外部气体的引入，并采用全无油真空抽气系统来减少污染环节,样品的转移，快门的切换均采取真空操作。
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  • wccd1

    第1楼2016/01/26

    MBE属于哪一类门科？

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