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【转帖】MBE的样品台系统

wukemin

2006/12/12

其他仪器综合讨论

样品台系统由机械转动装置、衬底加热器（含样品托）、挡板和束流规四部分构成。机械转动装置由超高真空专用配件构成，可使样品台绕中轴线做平面内转动和一定范围内的连续上下平移。这就中分保证了样品的顺利传输和样品生长位置的调整。在生长过程中，还可以用马达驱动样品台做面内连续转动来保证成膜的均匀性。衬底加热器一般由耐高温且不易分解的高纯钽片或石墨片构成。样品托的材料为高纯钼，可以加热到1000度以上。温度的测量也是通过钨铼热电偶来实现的，由于热电偶测量的温度并不是样品表面的实际温度，所以还需要高温温度计来校正。温度的精确控制是通过PID控温系统来实现的。挡板是用来精确控制时间和实现一些其它功能的，他也是有高纯钽片制成的。束流规是一种具有保护罩的离子规，主要来测量固体源的束流

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wccd1

第1楼2016/01/26

讲了一大堆，结果对MBE还是一头雾水？

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