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ICPMS

  • Insm_a6975262
    2018/04/27
    • 私聊

ICP-MS

  • 请教高手，安捷伦的ICP-MS测wafer表面Cu的时候，标线没问题，但是测的Cu含量偏高，不知道是哪儿的问题？还有测 Cu的时候是看Cu63还是Cu65？这两个哪个受干扰多？多谢！
  • 分
  • 该帖子已被版主-wangjstw加2积分，加2经验;加分理由:发帖奖励
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    +关注 私聊

  • 光哥

    第1楼2018/04/27

    应助工程师

    一般选63，测试结果高的话考虑下干扰没消除彻底。另外，考虑环境、酸里面的Cu

0
    +关注 私聊

  • tuxlin

    第2楼2018/04/28

    应助达人

    如果样品是的Na(23)含量太高的话，选63就不合适。Na与Ar会形成复合离子NaAr(23 40=63)。

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