【讨论】ICP测定硅片硼磷硅玻璃层中硼磷含量

有没有人做过测定硼磷硅玻璃层中硼磷含量？好像做这个的不是太多
我测量过几次，几次的测试结果偏差在10％左右，好像不是太稳定？
有谁做过类似的测试，大家讨论一下

好像做这个的比较少

你用什么方法溶样的啊？如果是用HF酸溶样，要注意这两种元素的挥发问题（这两种元素容易形成易挥发氟化物），我觉得偏差大不大可能是仪器的稳定性问题，应该是损失程度不一致造成的。

好久没有来了，谢谢了！
一起稳定性应该还是可以的，不过用HF融解的时候没有考虑到挥发问题，可能这个对测定影响比较大吧

路过，要积分，帮不上，不好意思

最好是用密闭容器

B的灵敏度还是挺高的,用密闭消解,注意要用耐HF的雾化器和炬管.

用微波消解溶样吧，这样不用担心损失。或者没有微波消解的话，用低温水浴加热，温度<60℃。