扫描电镜（SEM/EDS）
Dirk2017
第1楼2018/11/30
景深D＝0.2/（α?M），电压影响束斑尺寸，30KV算比较高的电压，因此束斑尺寸比较大，景深就小一些，用FE-EPMA观察断口形貌是没问题的，之前在学校用的JEOL 8100 EPMA是钨灯丝的看断口都比较清楚，所以FE-EPMA肯定是没问题的。
Insm_e67f46dc
第2楼2018/11/30
是不是把epma加速电压调小一些，照端口效果就会比较好了？一般加速电压和电流应该如何选择？依据是什么？
第3楼2018/11/30
这个去试一下，我觉得30kv拍断口也没问题，如果不行慢慢往下调。
fengyonghe
第4楼2018/12/01
高压与束斑直径的关系是高压越高束斑直径越小，景深越大。提高景深最有效的是使用小尺寸的末级光阑，这样可有效地减小孔径角2α。看下面的公式和图解
dadgoh
第5楼2018/12/03
4楼正解
第6楼2018/12/03
另外可以增加工作距离。
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