扫描电镜(SEM/EDS)
驰奔
第1楼2009/12/11
低加速电压,最主要的是活用偏压。不知道板油们都是如何做的!
fengyonghe
第2楼2009/12/12
15000倍不清楚,请问束斑是多少。
第3楼2009/12/12
确实这个概念我不太清楚。根据经验估算,二次电子信号发射区域尺寸应该在20nm左右。不知道进口电镜是一种什么状态?
RoadCH
第4楼2009/12/12
楼主的这几张照片还是比较凑合的,图像对比度调的不太好,另外可以看到有干扰条纹,是不是环境震动不达标?
春天的桃子
第5楼2009/12/13
想到用低压来拍,确实不错,在拍的时候注意调整束斑,效果会跟好的。
dymek_friendlie
第6楼2009/12/14
我是来学习的。
蓝莓口香糖
第7楼2009/12/14
二次电子的产生深度有20nm那么大吗?应该小一些吧?
第8楼2009/12/14
环境确实有点凑合,对比度可能偏大一些,
第9楼2009/12/14
是的,束斑尺寸调节和图像信噪比要协调好,我的对比度已经调到头了,束斑似乎还可以小一点点。可能对图像分辨率贡献不大了。
第10楼2009/12/14
专家的意思是最小束斑直径基本等于图像分辨率,我的理解是二次电子发射的像素尺寸和束斑直径基本相当。
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