X射线荧光光谱仪（XRF）
玉米馒头
第1楼2018/12/09
现在貌似各大厂商新款的WDXRF都有微区扫描功能，如果是老款，可能不支持吧
sonne86400
第2楼2018/12/20
玻璃穿透比较容易 xrf直接测估计比较难 建议用化学分析方法
水清鱼读月
第3楼2018/12/21
X光聚焦不易，不知道你所说的微区是多大的微区？mm尺度还是微米尺度？Si本身是轻元素，荧光产额低，要想测试微区内的Si，那就是难上加难。微米尺度上，这样的需求建议考虑用“电子探针EPMA”来对应，这个仪器有点类似于SEM，但是它使用更大的激发电流，不是加EDS能谱探头来测试元素，而是采用WDXRF的分光光路来测试元素，无论是检出限还是元素谱峰的分辨率都碾压SEM-EDS。当然价格也比较感人就是了。
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