EDS测试时CPS值偏高

要看死时间是否太大，死时间小于70%，计数率高是好事。如果死时间太高就得检查是什么问题。你注意死时间是多少吗？
死时间， 处理器无法测量其他脉冲时间的总和。以百分数表示。

拐点64%，70%仍可分析，一般控制＜60%，校准时＜40%

谱图是否正常？如果谱图噪音升高了应该处理

第一张是现在计数量20143的数据，死时间51%, 第二张是正常计数量5040的数据，死时间23%。

图片顺序是反的

第一张图是现在异常时测试的计数量20000多，死时间是51%；第二张图是以前正常测试时计数量5000多，死时间23%，两者死时间差异很大，请教一下是哪里有问题，感谢！

问题找到了，是由于EDS出来的一根线接触有松动导致的。

扫描电镜测试＋QQ1597861011

可以试试调低点电压试试。