s.e.c air lock valve无法关闭

样品杆卡在何处？

样品杆卡在交换仓了。

不好意思，还是不太明白
样品杆本来就应该卡在交换仓的啊
如果是在正确固定位置卡住不动，请检查一下卡簧是否变形

是应该卡在交换仓，但是无法破真空，因为GUN VALVE没有自动关闭

没有弹簧，在入口处有一个SENSOR，但是动作到位了，主要是高压关闭后，GUN VALVE 没有自动关闭，有用过日立超级电镜么？可以上网查一下，看看是什么样的。

没听说日立有超级电镜，呵呵。
是48？不会是55吧？
这种情况一般都是拉出样品杆的时候动作有异，交换室轻微漏气或样品杆不到位造成sensor误判断造成的。
真空控制面板上其他按键工作正常吗？

不是55，是52.都差不多的，只是分辩率相差一点。你还是没有看明白，高压关闭后，GUN VALVE应该自动关闭的，但是没有自动关闭，所以取样品杆时造成卡住，我怀疑是软件的原因。

是超级，52我还没见过呢
类似的情况在47和48上都碰到过，一次是因为Gun Valve本身的问题，一次是我上面说的原因。
个人感觉跟软件没太大关系，如果HV确实已经关掉了。

请你解释一下，为什么高压关闭后，GUN VALVE没有关上？