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TEM和SEM用的能谱仪有什么差别

扫描电镜（SEM/EDS）

  • TEM和SEM用的EDS有什么差别吗？从硬件和探测角度分析
相关话题
    +关注 私聊

  • fengyonghe

    第1楼2019/05/05

    能谱仪并没有区分扫描电镜能谱仪或透射电镜能谱仪，在能谱培训方也没涉及这个问题。 购买能谱仪也没有区分。

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  • SEMDriver

    第2楼2019/05/07

    我看牛津官网上，有专用于TEM和SEM的EDS

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  • wildonkey

    第3楼2019/05/11

    探测晶体基本一样，但是前端设计不一样
    TEM的x射线产额低，信号弱， 因此TEM能谱通常没有电子陷阱 让晶体尽量靠近样品 从而获得远大于sem上的固体角

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  • SEMDriver

    第4楼2019/05/11

    你好！产额低是因为样品薄作用范围小导致的么？另外为什么没有电子陷阱，这个不是可以去捕获bse么，并不影响x-ray产额，但是准直器会影响

    wildonkey(wildonkey)发表:探测晶体基本一样，但是前端设计不一样
    TEM的x射线产额低，信号弱， 因此TEM能谱通常没有电子陷阱 让晶体尽量靠近样品 从而获得远大于sem上的固体角

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