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各家能谱仪EDS优劣对比

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 各主要厂家(EDAX, bruker,oxford)能谱仪性能对比,请各位大咖赐教!
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  • Lei Wang_N

    第1楼2019/05/04

    体验过牛津无窗,一个搭载在日立冷场82上的,一个搭载在蔡司G500上的,计数率非常高,做mapping效果好,不过工作距离好像安装的都在5mm。布鲁克的平叉能谱装冷场据说也很强悍,低电压3kV高倍,50万倍mapping还可以的。EDAX见过一个70平装在日立82上的,效果也可以的。

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  • SEMDriver

    第2楼2019/05/07

    TEM和SEM用的EDS有什么差别吗?从硬件和探测角度分析

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