特种气体工艺系统的一般性要求

特种气体工艺系统的一般性要求如下：1. **设备与材料方面**： - **气瓶相关**： - 储存特种气体的气瓶柜、气瓶架、集装格等要符合相应标准。比如，自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体的气瓶柜用气瓶容积一般不得大于 50L；氧化性和惰性气体的气瓶架用气瓶容积也不得大于 50L。并且要采用多种合理的结构配置，如单工艺气瓶外置吹扫氮气瓶、双工艺气瓶外置吹扫氮气瓶、双工艺气瓶内置吹扫氮气瓶等。同时，不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中。 - 气瓶柜与气瓶架应设有分配、作业用气体面板，且气瓶柜柜体外壳钢板厚度不应小于 2.5mm，并有防腐蚀涂层；气瓶柜门应具备自动关闭功能，并配备防爆玻璃观察窗；气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标示牌，地脚螺栓的设计要满足当地地震烈度的要求。 - **管道及管件**： - 普遍采用 316L 不锈钢电解抛光（EP）管道，对于某些高腐蚀性的气体如 Cl2 等，需采用经过特殊处理的耐腐蚀强的 EP 管。管道的规格尺寸、壁厚、圆度、端面平整度等应符合相关要求，管道内壁平均表面粗糙度 Ra 及最大表面糙度 Rmax 应满足设计文件的要求。 - 管件和阀门要与管道材质相匹配且质量合格，进场时需有产品规格、型号、合格证、材质证明、使用说明书、检验报告等文件。在洁净室等特殊环境中存放和安装时，要注意防止污染和损坏。 - **其他设备**：阀门箱、阀门盘、尾气处理装置、纯化器等设备应符合相应的性能和质量要求，有齐全的随机资料和专用工具。2. **系统设计方面**： - **气体输送与分配**： - 设计要确保气体能够稳定、准确地输送到用气点，满足电子产品生产工艺对特气工艺的参数要求。要根据工艺设备的用气需求，合理确定管道的管径、压力、流量等参数，并且多设计备用系统以提高可靠性。 - 对于低蒸汽压气体，需要考虑钢瓶加热、气体面板加热、管道伴热等措施，以保证气体的正常供应。 - 为了精确控制流量，在气源端和用气点一般需配置相应的压力变送器、质量流量计、压力调节阀等仪表。 - **安全防护**： - 整个管道系统应采用零死区设计，避免在气体置换时有残留空气的死角。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送，防止泄漏和意外发生。 - 系统应设置多重安全防护措施，如泄漏侦测、远程紧急切断等。在可能产生泄漏的区域，如气瓶柜、阀门装置排风管口处、工艺设备装置排风管口处等，应安装气体检测报警装置，并根据不同气体的性质确定正确的采样方式和报警设定值。 - **尾气处理**：配备合适的尾气排放处置系统，对使用后的特种气体进行处理，使其达到环保排放标准。尾气处理装置的基础应坚固平整，水平度不得大于 3‰，每个系统的管线及阀门都应贴上显著的正确标识，阀门应开关灵活，锁定装置应可靠。 - **通风与排风**：根据特种气体的性质，将排风管道分成不同的系统，如普通排风系统、酸性排风系统、溶剂排风系统、氨气排风系统等。排风管道的材质和安装应符合相关要求，确保气体能够安全、有效地排出。3. **施工与安装方面**： - 施工应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》《工业金属管道工程施工质量验收规范》《现场设备、工业管道焊接工程施工规范》和《现场设备、工业管道焊接工程施工质量验收规范》的有关规定。 - 不锈钢管道应采用自动轨道氩弧焊机焊接，高纯氩气保护。安装和试验检测用计量器具应经检验合格并在有效期内使用。 - 施工前应编制专项施工方案，并经业主审批后实施。设备材料进场时，应提供产品合格证、质量保证书、性能测试报告等文件，建设单位技术人员应在场检验确认。