气相色谱(GC)
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第1楼2024/09/19
它们会对硅烷产生不少不良影响。一方面,氯化物可能会与硅烷发生反应,降低硅烷的纯度和稳定性。另一方面,在一些工艺过程中,氯化物可能会导致设备腐蚀,增加维护成本,还可能影响最终产品的质量。所以,要尽量减少硅烷气体中的氯化物含量
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