请教ICP-MS检测三氯化硼的取样问题

应助达人

你们是液态的还是气态的？液态的话取样可以考虑移液枪或者移液管，一般控制杂质上机浓度在ppb级别，如果杂质含量较高取样量就小一点，如果杂质含量较低取样量就大一点。

气态三氯化硼，用移液枪取会不会由于接触空气中的水分直接反应了？

应助达人

有没有相关标准?测气态样品用ICPMS还是比较少的吧

有标准，《GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法》，将气体通入水中，然后检测金属；核心问题是三氯化硼的取样量以及硅烷如何取样？

应助达人

气态你能控制通入水里的量吗？如果可以的话通入后三氯化硼的浓度已知，就可以定量取三氯化硼溶液进行测试（如有需要进行稀释、加酸之类的）。

气态的话通入水里的量是按称重法，前后重量变化得出；主要是大概的浓度还是存疑，怕浓度过高有基体效应，浓度过低数值不准确。