ICP-MS
sdlzkw007
第1楼2020/04/21
调谐能不能通过?如果能通过,可以对比一下最近的几次调谐报告。没有线索很难解决问题。
yayicuo
第2楼2020/04/21
需要一步步查找原因,这么分析,很难说到点上。
Insm_7c51080c
第3楼2020/04/21
调谐正常,测标准均正常,莫名其妙熄火,且不提示熄火原因。该怎么检查?
gaosong19730427
第4楼2020/04/22
试着查报错记录,系统给熄火原因进行分析。
tuxlin
第5楼2020/04/22
检查一下炬管箱温度是否过高、真空是否过低、冷却水温度是否过高,还可进入ServiceMode看一下等离子功率是否正常。
第6楼2020/05/05
谢谢各位老师!原因已找到,功率管老化,RF功率太低。
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