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【求助】出现了一个馒头峰和一个找不到对应成分的尖峰，该怎么分析呢？

  • Insm_1cfb0672
    2021/06/29
    • 私聊

X射线衍射仪（XRD）

  • 在硅片上沉积了个CrSiN薄膜，结果显示了一个馒头峰和一个尖峰，但是馒头峰能对应上的成分特别多，而且尖峰找不到对应的成分，用的掠入射xrd得到图谱。事关小弟毕业，如果能解决必将感激涕零！

    衍射峰如下：

附件：

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    +关注 私聊

  • iangie

    第1楼2021/06/30

    应助达人

    尖峰是Si 311峰
    001 Si基板的311峰很容易出现在~2度左右掠入射的几何
    如果要避免这个基板峰 你可以把样品斜着放 例如斜个30度再测 保证这个Si 311基板峰就不见了

    馒头峰是你的样品峰 要么是纳米晶 要么结晶度很差

1
    +关注 私聊

  • Insm_1cfb0672

    第2楼2021/06/30

    原来是这样，感谢

    iangie(iangie) 发表:尖峰是Si 311峰
    001 Si基板的311峰很容易出现在~2度左右掠入射的几何
    如果要避免这个基板峰 你可以把样品斜着放 例如斜个30度再测 保证这个Si 311基板峰就不见了

    馒头峰是你的样品峰 要么是纳米晶 要么结晶度很差

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