涡轮泵正常运转与否与前级泵有哪些关系?

应助达人

前级泵必须首先启动，直至达到一定的真空度，然后才可以启动分子泵。

否则易损伤分子泵

应助达人

前级泵降低系统真空度，为高真空泵创造操作环境

应助达人

为啥这么说

应助达人

为什么易损失分子泵

应助达人

泵两端压力差过大，泵负载过重。

应助达人

质谱真空系统的维持是一个配合的过程，由机械真空泵提供低、中真空度，由分子涡轮泵在前者的基础上维持高真空度，两都同时工作以保证系统真空度的稳定性，从工作站运行上就能看出来，先是启动机械真空泵，当真空度达到一定的值时才会启动分子涡轮泵直到达到所需的真空度（如果机械泵有问题真空度达不到，分子涡轮泵就一直不会打开）。

应助达人

分子涡轮泵脆弱吗？

应助达人

好的，老师，明白了

应助达人

涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2Pa的前级真空泵。