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新手求助,图像怎样才能调清晰?

  • Ins_ab9c0be1
    2021/12/06
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

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  • 砂锅粥

    第1楼2021/12/06

    应助达人

    楼主放大倍数才500倍,应该很好调,结合亮度、对比度调整一下。另外,楼主的电压需要那么高吗?(30KV)。
    另外,这个拍摄技巧跟样品也有很大关系,楼主有条件的话最好参加一下厂家的培训。
    或者参考一些网上的资料,比如下面这个。https://wenku.baidu.com/view/b8b63d5d951ea76e58fafab069dc5022aaea46a5.html?fixfr=0MIQcBUiFoS6yocqe%252FM%252BNA%253D%253D&fr=income4-wk_go_search-search

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  • mingxiaoyan

    第2楼2021/12/06

    调节物镜焦距,从而使扫描光栅的高斯平面正好在样品的表面,这时候称作正聚焦,现象就是过聚焦和欠聚焦的都不如正聚焦对样品观察的清楚。
    WD(工作距离)含义是:样品正聚焦时候,样品表面到物镜下平面的垂直距离。
    假设你在样品台上同时装载两个样品,样品高度不同,如果样品台Z轴不动,这时对于两个样品进行观察,WD是不同的,高的样品WD值小,低的样品WD值大。
    如果想要两个样品WD值相同,那么当完成一个样品聚焦后,保持物镜焦距不变,通过调节样品台Z轴聚焦(这个偶尔会用到),如果先观察高的样品,再观察低的样品,这时候需要升高样品台才会聚焦,但时刻注意高样品是否在安全工作距离之内,别发生碰撞。

    安装环境条件合理,确保仪器没有故障前提下。
    首先:搞清楚成像基本原理:你的放大倍数相对你所使用的末级束斑直径来说太高,或者你的曝光时间不够,这里特指扫描速度。降低放大倍数,直到清楚为止,或者提高曝光时间,直到清楚为止,这时候的图像质量,是由你所使用电子光学及成像系统条件决定的。
    扫描电镜条件调节范围非常宽泛,所以也有几百倍调不清楚的。为了提高图像质量,主要是通过末级探针直径和放大倍数相匹配,合适的曝光时间。

    其次:搞清楚如何缩小末级束斑直径尺寸:降低各级透镜的焦距, 这里聚光镜起到的作用最大,其次是物镜缩短焦距,也就使用小WD值;使用电磁透镜低像差条件,例如,高的加速电压,小的末级光阑,小的WD,良好的电子枪对中,活动光阑合轴等;最佳的象散校正。

    再次:需要确认电子束样品作用区,信号发射区域,作用区才是决定空间分辨率的根本,这个涉及到加速电压的使用。

    最后:前面获得的“高分辨”信号,只有合适的亮度和对比度才可以清晰的显示,所以亮度对比度调节不能忽视。

    当然任何扫描电镜都有其极限能力,尽可能发挥其应有的水平。

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