chanmao2004
第1楼2021/12/08
1. 理论上normal是高分辨成像所用的小束斑小束流,适合高倍率的成像,中低倍信噪比差一点;high顾名思义是分析用,相对normal是大束斑大束流,适合做能谱分析和EBSD等分析用途,但是用于成像中低倍信噪比强,高倍也堪用,很多情况下用得更多。
2. 束流Probe current跟发射电流emission current有关,也跟normal和high模式也有关,更跟condenser lens1有关。发射电流大、high模式,lens1选1,就会获得比较大的束流,反之相反。
3. Condenser len 1是调节第一聚光镜强度的,数值越大,它的强度越大,通过光阑的束流降低。稍深入地说,在发射电流和模式缺点后,聚光镜强度和光阑配合来调节束流,光阑孔是有限的,比如日立的光阑只有有限的几个孔。那么调节第一聚光镜强度,越强则电子束会聚越靠上,被光阑拦住的电流越多,物镜会聚后束斑的束流越小,利于高分辨成像;反之则束流越大,利于中低倍成像和分析功能。
4. 光源质量不是取决于孔径等这些,它是一个很复杂的东西。衡量扫描电镜最重要的是电子源,电子源决定了电子光学亮度,比如场发射枪的亮度就远大于热发射电子枪(钨灯丝)。高质量的光源(电子源)决定了会聚到某一束斑时束流的数值,也就是好的电子源可以保证纳米级的束斑时还能有纳安级的束流,场发射可以做到,但是钨灯丝做不到。
5. 建议看一看亮度方程(电压 束流 束斑和会聚角的辩证关系),或者外文版2003年的书。