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FEI 的Apro S的减压模式，最大偏压是多少千伏？

  • violet清净
    2020/04/07
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 请问各位大侠 FEI 的Apro S的减压模式，最大偏压是多少千伏，谢谢！
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    +关注 私聊

  • Lei Wang_N

    第1楼2020/04/24

    最大4 kV ，浸没模式最小工作距离3 mm，optiplan最小工作距离可以更小 看样品如果样品平整偏压可加高一点，如果尖端太多建议2 kV上下就可以了

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