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【求助】请教光学显微镜和扫描电镜的问题

  • wanglx-123
    2009/12/09
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 昨天看了几个样品,是物理方面的,长在单晶硅上,他们在光学显微镜下200倍左右就能看到有东西,1000倍下看到是密密麻麻的,可是我在扫描电镜下就怎么也找不到,不知道是怎么回事?是不是我不会找的原因。
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  • 驰奔

    第1楼2009/12/09

    你的样品可能太薄,在扫描电镜下没有形貌反差。
    可以在3000倍左右,样品倾斜角度20°看看!

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  • beijingsem

    第2楼2009/12/09

    请尝试一下低加速电压,如果是场发射扫描电镜的话可以用1KV试一试,加速电压越低,信号源越浅。

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  • fengyonghe

    第3楼2009/12/09

    这种样品在扫描电镜下用TV方式很难找到,用选区扫描方式就容易找到。先找一个明显标记,将聚焦调好,再改用选取扫描。

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  • rainflying666

    第4楼2009/12/10

    学习一下,请问专家什么叫TV方式,什么叫选区扫描方式呢?谢谢赐教!

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:这种样品在扫描电镜下用TV方式很难找到,用选区扫描方式就容易找到。先找一个明显标记,将聚焦调好,再改用选取扫描。

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  • wanglx-123

    第5楼2009/12/10

    我的不是场发射电镜,之前送样人说在别的地方的场发射电镜下可以看到,谢谢大家的帮忙。

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  • 驰奔

    第6楼2009/12/10

    是不是样品粘反了。最好把要看的表面用碳素笔做个记号!
    单晶硅表面低倍可是什么都看不见 10000倍以上可能看到点缺陷,但不明显!

    wanglx-123(wanglx-123) 发表:昨天看了几个样品,是物理方面的,长在单晶硅上,他们在光学显微镜下200倍左右就能看到有东西,1000倍下看到是密密麻麻的,可是我在扫描电镜下就怎么也找不到,不知道是怎么回事?是不是我不会找的原因。

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  • wanglx-123

    第7楼2009/12/10

    粘反的可能性比较小,之前他的样品就很难找到,每次都很费时间,这次这个根本就找不到了

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  • fengyonghe

    第8楼2009/12/10

    扫描电镜观察图像有三种方式:扫描方式、选取扫描(开一个小的窗口)、TV方式(电视方式)

    rainflying666(rainflying666) 发表:学习一下,请问专家什么叫TV方式,什么叫选区扫描方式呢?谢谢赐教!

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  • 驰奔

    第9楼2009/12/10

    不知肉眼是否可以察觉到和基体的差异,观察到了在旁边用细碳素笔做个小记号,在电镜观察时先找记号,然后再放大聚焦清楚看,光镜都能看,不信电镜看不到。
    到时1000倍到很多,密密麻麻的,估计晶体尺度可能在1微米以下,要看清楚晶体形貌5000倍以上比较理想。

    wanglx-123(wanglx-123) 发表:粘反的可能性比较小,之前他的样品就很难找到,每次都很费时间,这次这个根本就找不到了

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  • guanjun19860820

    第10楼2009/12/11

    你在SEM多少倍数下看的?光学显微镜和SEM的原理是不一样的,你看的什么东西,能否详细描述一下哈?

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