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超纯水中粒子检测的标准方法都有哪些

普洛帝

2021/12/11

颗粒度测量

UP-200超纯水粒子计数器采用普洛帝核心技术创新型的第八代双激光窄光颗粒检测传感器，双流量控制-精密计量柱塞泵和超精密流量电磁控制系统，可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品进行在线或离线颗粒监测和分析，目前是普洛帝分析测试集团向水质领域及微纳米检测领域的重要产品。

超纯水粒子计数器评判标准：

JJG 1061-2010《液体颗粒计数器检定规范》

SJ/T 11638-2016《电子化学品中颗粒的测试方法》

GB/T 29024.2-2016《粒度分析单颗粒的光学测量方法第2部分：液体颗粒计数器光散射法》

GBT 11446.3-2013《电子级水测试方法通则》

GBT 11446.9-2013《电子级水中微粒的仪器测试方法》

ISO 21501-2:2007《Determination of particle size distribution — Single particle light interaction methods — Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter》

目前除了这些还有哪些

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还有DIN 50452-2-1991 半导体工艺材料的检验.液体中颗粒分析的试验方法.第2部分:用光学粒子计数器对颗粒的测定

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特别感谢，我们已经编入我们的设备

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