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真空压力精密控制技术在阶梯光栅光谱仪中的应用

  • 上海依阳实业
    2022/01/21
  • 私聊

ICP光谱

  • 摘要:为了实现阶梯光栅光谱仪的高精度测量,要在全过程中对温度和压力进行长时间的精密恒定控制。本文将针对阶梯光栅光谱仪中压力的精密控制,介绍压力的自动化控制技术,并详细介绍了具体实施方案,其中特别介绍了控制效果更好的双向控制模式。

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    一、问题提示

    阶梯光栅光谱仪作为一种全谱直读的光谱仪器广泛应用于天文、地矿、化工、冶金、医药、环保、农业、食品卫生、生化、商检和国防等诸多领域,但阶梯光谱仪的灵敏度会受到环境温度和压力的严重影响,因此阶梯光谱仪普遍要求对工作温度和压力进行精密控制,特别是压力控制要求达到很高精度,如果控制精度不够,则会带来以下几方面的影响:

    (1)压力波动会使得阶梯光谱仪内的气体折射率发生改变。

    (2)压力波动也会造成光谱仪内外压差不同而造成光谱仪光路(特别是光学窗口处)的微小变形。同时,温度变化也会直接造成气压随之改变。

    总之,为了实现阶梯光栅光谱仪的高精度测量,要在全过程中对温度和压力进行长时间的精密恒定控制。本文将针对阶梯光栅光谱仪中压力的精密控制,介绍压力的自动化控制技术,并详细介绍了具体实施方案。

    二、实施方案

    阶梯光栅光谱仪的压力控制系统结构如图所示。在具体实施过程中,需要根据具体情况需要注意以下几方面的内容:


    阶梯光栅光谱仪压力控制系统示意图



    (1)阶梯光谱仪的工作压力一般在一个大气压760torr附近,因此要选择在此压力下测量精度能满足设计要求的压力传感器。

    (2)压力自动控制采用24位高精度PID控制器,如果24位测量精度还是无法匹配压力传感器精度,则需要更高精度控制器。

    (3)压力控制采用双向模式,即同时调节进气和出气流量,但对于一个大气压附近的压力控制,一般是固定进气流量后自动调节排气流量实现压力恒定控制。

    (4)针对不同尺寸的阶梯光谱仪工作腔室大小,需选择不同的出气流量控制阀。对于大尺寸空间工作室,出气流量控制可选用出气口径较大的电动球阀;而对于小尺寸空间工作室,出气流量控制则需要选择出气口径较小和更精密的电动针阀。抽气用的真空泵也是如此。

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  • 化学潜行者

    第1楼2022/01/21

    不明觉厉。。。。。

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  • 次元之暗面

    第2楼2022/01/21

    楼主这个就厉害了

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  • timstoicpms

    第3楼2022/01/22

    岛津 ICP-OES 光室也是抽真空的,抽到 1~10 Pa 的状态

    次元之暗面(v3195919) 发表:楼主这个就厉害了

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  • JOE HUI

    第4楼2022/01/22

    应助达人

    学习了,感谢老师分享

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  • 次元之暗面

    第5楼2022/01/23

    我其实在灌水。真空光室实在比氩气吹扫省气多了,电费换氩气,不过跟5n氩气和液氩比干扰要大些,但一般差距不大,如果设备每天都要长时间运行的话,要比吹扫省心很多。

    timstoICPMS(timstoICPMS) 发表: 岛津 ICP-OES 光室也是抽真空的,抽到 10~20 Pa 的状态

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  • Insm_225995ca

    第6楼2022/01/23

    进来看看学习下

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  • 123

    第8楼2022/01/24

    应助达人

    谢谢分享!

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  • Insm_225995ca

    第10楼2022/01/24

    进来看看学习下

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