ICP光谱
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第1楼2022/11/07
超净室中操作
JOE HUI
第2楼2022/11/07
是的，必须超净室，真空镀膜工艺对应用环境有着严谨的要求，对于常规的真空工艺来说，它对真空卫生主要是要求：在真空中的设备的零件或表面无积存的污染源、真空室表面光滑且无松软组织和气孔和死空间、真空设备内焊缝不会影响真空、高真空设备不得用机油作润滑剂、无油超高真空系统应避免因油蒸气而对工作介质的纯度、工作性能或表面特性造成影响、超高真空金属系统常以1Cr18Ni9Ti作为结构材料、置放真空镀膜设备的实验室或车间应保持清洁卫生等。
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