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Co基单晶合金的双喷减薄

  • Ins_f9559010
    2023/03/09
    • 私聊

透射电镜（TEM）

  • 之前做Co基的双喷一直用8%高氯酸+92%乙醇 出来一堆小孔 比较大的孔周围薄区也不好 想知道是要改变双喷液呢 还是改参数 之前是试过40V还有60V的电压
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    +关注 私聊

  • m3033883

    第1楼2023/03/09

    应助达人

    这个估计是样品里有大的第二相。没有什么好办法。可以直接离子减薄或者双喷一定时间后（不穿孔）再离子减薄。

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    +关注 私聊

  • 北京有色金属研究总院

    第2楼2023/10/11

    办法很多。提高双喷液温度减小择优腐蚀，增加感光值，溶液加一些缓蚀剂，或者更换硫酸甲醇系，高氯酸甲醇甘油系等等

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