扫描电镜（SEM/EDS）
第1楼2023/06/08
建议把原图附上，没有图，没有测量数据不敢回复
Insm_be7a32d2
第2楼2023/07/10
您好！这张图拍摄目的是看光刻胶角度的，手工裂片，看截面，然后倾斜9.7°，量的胶厚与台阶仪测的数据相差20nm左右。
maxwellar
第3楼2023/07/15
不是应该竖直测量吗，为什么要倾斜呢？我的理解是倾斜本来就应该偏小的
UNM
第4楼2023/07/18
测量要直接测量截面，需要提前把样品处理好，直接拍测截面测量
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