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有关TEM制样方法

透射电镜(TEM)

  • TEM要求测硅片上磁控溅射生长磁性多层膜,FIB制样过程需要真空,需要制样结束后是通过真空互联系统转移到TEM中来测试,整个过程不能爆大气!实际制样中应该怎样操作?
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  • 洪星二锅头

    第1楼2023/08/24

    TEM装载过程很难做到不与大气接触,我目前还没有听过有真空装载到样品杆然后加载到TEM的,唯一可能的就是利用SEM直接来实现部分TEM功能,目前SEM已有这样的案例

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  • 蓝莓口香糖

    第2楼2023/08/25

    这个有办法实现,但是比较繁琐。FIB加工完后可以有真空转移舱把样品拿到手套箱里,在手套箱里把样品装上TEM真空转移样品杆,然后再把杆子拿出来送到透射电镜里。但是有这一整套设备的用户很少,而且这种都是特殊用户,基本上是自己用,没有对外服务。

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  • 田仕家

    第3楼2023/09/03

    找个三方测试机构问问就行,实现不难。生物或者锂电有冷冻传输样品杆,比如Fischione Cryo Transfer Tomography Holder(Model 2550)

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