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求助,Angilent7900有机进样系统测试半导体有机溶剂的Si和B怎么降低背景

  • Insm_4d39d866
    2023/09/18
  • 私聊

ICP-MS

  • 半导体有机溶剂里的Si和B怎么降低背景,难道真的要用串联质谱才能测50ppt级别,用的氩氧混合,用的标准加入法测的IPA,但背景上万的CPS,100ppt才200的CPS,咨询工程师说做不了那么低,感觉现在Angilent的应用越来越不行了,回答的很多问题都是很模糊的,
    1、进样系统是否要选择耐氢氟酸的,我的标准溶液10ppm含有0.2%HF
    2、用的试剂也在进行排查,试剂有没有推荐的品牌,一直走同一个样品,CPS结果一直在下降,冲完后第二天再开机,又变得很高。如果是试剂的问题,应该会稳定在一个理论值。
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  • 光哥

    第1楼2023/09/19

    应助工程师

    B的应该是可以达到,NG模式就行了。但50ppt这个浓度应该更多的是取决于环境、试剂、器皿的影响——之前有位朋友做多晶硅的时候,检查了所有的可能的因素,最后换了FFU才把本底洗到合适的程度。
    有机样品里面的Si,估计不容易做到50ppt,毕竟有机样品的功率一般都得900w左右。
    对了,有机样品里面的B要做到50ppt,只怕也不太容易,C12对B11可能会有一些影响(这点是猜测的)
    说说自己以前做过的:
    Cool Plasma,45amu(SiOH),曲线最低点曾经拉过20还是50ppt,时间久远,有点忘了。但这个是在600w,标准溶液的,不是有机物样品。

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  • 好想带你去蹦极啊

    第2楼2023/09/20

    B用8900的NG模式可以达到50ppt以下的级别,用冷焰模式效果也不好。我们最近也是在验证降低B背景的问题。

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  • jerry

    第3楼2023/11/25

    有机溶剂里si串接的ms也不容易做到50ppt

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  • Insm_1e5a543b

    第4楼2024/04/05

    有机溶剂里B用nogas,试剂干净的情况下可以做到10ppt以下,89半导体配置

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  • 不知

    第5楼2024/07/04

    我们的仪器配置应该差不多,您这测的也是IPA或者甲醇,老师这个问题现在怎么解决的。
    我们是想用79测IPA中的B,使用母液是1000ppm硼水溶液,1mm矩管,ng模式,硼的质量数选的是10,
    信号也是很低,同样,测试时发现不稳定,我是延长稳定时间,但效果好像没那么好

    用79测B,与几位工程师沟通过,感觉他们自己做的也不多,更推荐用89

    我们尝试做了几次,
    一次只换了矩管和雾化器,10B的BEC在130ppt左右
    二次清洗了雾化室,矩管,连接管,换新的已清洗的大小锥,包括透镜,10B的BEC在400ppt左右,,做完检量线后测试同一个样,10B的含量700多ppt,测之前用UPW测试了仪器

    打算这两天再试试,希望能听听您的意见

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  • timstoicpms

    第6楼2024/07/04

    放着 11B不用,去用 低丰度的 10B,奇葩 —— 40Ar失去4个电子,40Ar (4-) 质荷比就是 10amu

    不知(Ins_93ad3f43) 发表:我们的仪器配置应该差不多,您这测的也是IPA或者甲醇,老师这个问题现在怎么解决的。
    我们是想用79测IPA中的B,使用母液是1000ppm硼水溶液,1mm矩管,ng模式,硼的质量数选的是10,

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  • 不知

    第7楼2024/07/04

    嗯,想听听老师关于硼的稳定性怎么看

    timstoicpms(timstoicpms) 发表: 放着 11B不用,去用 低丰度的 10B,奇葩 —— 40Ar失去4个电子,40Ar (4-) 质荷比就是 10amu

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  • 不知

    第8楼2024/07/04

    另外环境温度波动在5°之内,对灵敏度有影响吗

    timstoicpms(timstoicpms) 发表: 放着 11B不用,去用 低丰度的 10B,奇葩 —— 40Ar失去4个电子,40Ar (4-) 质荷比就是 10amu

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