光哥
第1楼2023/09/19
B的应该是可以达到,NG模式就行了。但50ppt这个浓度应该更多的是取决于环境、试剂、器皿的影响——之前有位朋友做多晶硅的时候,检查了所有的可能的因素,最后换了FFU才把本底洗到合适的程度。
有机样品里面的Si,估计不容易做到50ppt,毕竟有机样品的功率一般都得900w左右。
对了,有机样品里面的B要做到50ppt,只怕也不太容易,C12对B11可能会有一些影响(这点是猜测的)
说说自己以前做过的:
Cool Plasma,45amu(SiOH),曲线最低点曾经拉过20还是50ppt,时间久远,有点忘了。但这个是在600w,标准溶液的,不是有机物样品。
不知
第5楼2024/07/04
我们的仪器配置应该差不多,您这测的也是IPA或者甲醇,老师这个问题现在怎么解决的。
我们是想用79测IPA中的B,使用母液是1000ppm硼水溶液,1mm矩管,ng模式,硼的质量数选的是10,
信号也是很低,同样,测试时发现不稳定,我是延长稳定时间,但效果好像没那么好
用79测B,与几位工程师沟通过,感觉他们自己做的也不多,更推荐用89
我们尝试做了几次,
一次只换了矩管和雾化器,10B的BEC在130ppt左右
二次清洗了雾化室,矩管,连接管,换新的已清洗的大小锥,包括透镜,10B的BEC在400ppt左右,,做完检量线后测试同一个样,10B的含量700多ppt,测之前用UPW测试了仪器
打算这两天再试试,希望能听听您的意见