求助，Angilent7900有机进样系统测试半导体有机溶剂的Si和B怎么降低背景

应助工程师

B的应该是可以达到，NG模式就行了。但50ppt这个浓度应该更多的是取决于环境、试剂、器皿的影响——之前有位朋友做多晶硅的时候，检查了所有的可能的因素，最后换了FFU才把本底洗到合适的程度。
有机样品里面的Si，估计不容易做到50ppt，毕竟有机样品的功率一般都得900w左右。
对了，有机样品里面的B要做到50ppt，只怕也不太容易，C12对B11可能会有一些影响（这点是猜测的）
说说自己以前做过的：
Cool Plasma，45amu（SiOH），曲线最低点曾经拉过20还是50ppt，时间久远，有点忘了。但这个是在600w，标准溶液的，不是有机物样品。

B用8900的NG模式可以达到50ppt以下的级别，用冷焰模式效果也不好。我们最近也是在验证降低B背景的问题。

有机溶剂里si串接的ms也不容易做到50ppt