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荏原开发了一种可用于半导体产线的无汞臭氧监测仪

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2024/04/09

荏原株式会社宣布，已开发出2种环保型无汞臭氧监测仪。

该公司开发、设计、制造和维护正确使用臭氧所需的臭氧监测仪，以及结合了预处理系统和臭氧监测仪的臭氧浓度测量设备，以便在各种条件下进行精确测量。它被用于许多领域，例如供水和污水处理设施的先进处理工艺以及半导体工厂的制造工艺。为了应对社会对环境的日益关注，新开发的产品组的特点是采用UV-LED作为光源，在实现无汞使用的同时，实现高精度测量。

第一类新产品是EG-3100系列，这是一款用于水和污水处理设施的高精度臭氧监测仪，它不含汞，并采用公司独特的发光校正技术，实现了与低压汞灯相同的精度。除了提供涵盖水净化过程中臭氧处理中所有气体测量点的产品阵容外，该公司还实现了高精度和高分辨率，因此可以应用于研发应用。

第二种是EG-690，这是一款用于半导体制造工艺的在线臭氧监测仪，与EG-3100系列一样，不含汞，并达到与低压汞灯产品相同的精度。此外，它具有占地面积小的特点，可以在线安装在半导体制造工艺（生产线）的臭氧气体管道中，适用于设备嵌入。

EG-3100 系列和 EG-690 的订单计划于 2024 年 4 月开始。

[来源：仪器信息网译] 未经授权不得转载

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