xps能测哪些元素

X射线光电子能谱（X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS）是一种表面分析技术，它可以用来确定固体材料表面几纳米深度范围内的元素组成、化学状态和电子状态。XPS可以测量几乎所有非轻元素（即原子序数大于9的元素，因为轻元素如氢和氦的光电子峰容易被表面其他元素的光电离过程产生的背景噪声掩盖）。

具体来说，XPS可以测量以下类型的元素：

1. **过渡金属**：如Fe（铁）、Co（钴）、Ni（镍）、Cu（铜）等。
2. **主族元素**：如O（氧）、N（氮）、C（碳）等。
3. **稀土元素**：如La（镧）、Ce（铈）、Pr（镨）等。
4. **其他重元素**：如Au（金）、Ag（银）、Pt（铂）等。

由于XPS主要检测从样品表面发射出来的光电子，因此对于分析轻元素（特别是氢和氦），它的灵敏度较低。不过，对于碳、氮、氧等常见的表面污染元素，XPS是非常有效的。

需要注意的是，XPS对样品表面非常敏感，只能提供表面几纳米深的化学信息。对于深层成分分析，可能需要采用其他技术，例如深度刻蚀结合XPS（例如用离子轰击去除表面层）或者其他的分析手段如SIMS（二次离子质谱）。

此外，XPS还可以用来测定化学态（即元素在化合物中的氧化态或配位环境），键合性质，以及电子结构等。这些都是基于对光电子峰位置和形状的精细分析得到的。