光谱梦
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第1楼2024/09/19
氦质谱检漏仪的基本原理是利用氦气的特性,通过质谱技术检测泄漏。?氦质谱检漏仪是一种专门用于检测氦气的质谱仪,其内部有一套高真空系统,以及一个与其相连的质谱室。外界的气体进入到检漏仪质谱室后,首先会在离子源处被电离,产生离子。这些气体离子被加速后进入磁场,其路径会被偏转,由于不同的离子荷质比不同,偏转半径也不同。在合适的地方设置一个狭缝,就可以仅让示踪气体——氦气的离子通过并到达收集极。收集极得到的离子流信号和进入检漏仪的氦气量多少,即泄漏率的大小成正比。通过测量该信号,就可以测量泄漏率。
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