扫描电镜(SEM/EDS)
jeolzxj
第1楼2007/05/30
背散射电子信号产生的深度比二次电子深,而荷电只是样品的表面,层次深的没有.而且它的能量比较强,不太易受影响.
zemb
第2楼2007/05/31
样品荷电后,在样品表面形成一个电场。由于二次电子的能量很低,只有几十eV,受电场力的影响较大,所以荷电对二次电子像有较严重的影响。而背散射电子的能量较高,可达几keV,以至接近加速电压,荷电电场对它的影响就很小,所以背散射电子像受荷电的影响很小。
共工
第3楼2007/06/21
背散射像不会消除充电现象,只是背散射检测器对充电不是很敏感。背散射探头对高能电子才敏感,一般这些高能电子是由于弹性散射引起的,多来自样本内部。二次电子探头对高能低能电子都敏感,所以对样本表层的充电有反应。论坛上有顶置的关于背散射电子探头种类的帖子, 不同种类的背散射探头对充电现象也有不同的反应。
bossvip
第4楼2007/07/31
非常感谢!
白水山石
第5楼2007/08/02
已下载,谢谢楼主了!
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