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【求助】请问大家如何对无机薄膜的sem样品制样的

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 我制备的无机薄膜材料样品非常不好
    在扫描电镜下观看发现断口不平齐
    膜面翘起或者撕掉了，没有像别人文献里那样整齐清晰的断面
    按说高分子等有机膜会出现这种情况，需要液氮冷冻后脆断
    我的样品是5mm白玻璃上镀的SnO2和ITO膜，分别用APCVD和磁控溅射镀上去的
    这种无机硬膜也会翘起？
    不知道各位是怎样制备薄膜样品的
    小弟初来乍到，希望各位不惜赐教哈～
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    +关注 私聊

  • anite1984

    第1楼2007/08/02

    虽然不是原创,不错了.

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  • x994zyh

    第2楼2007/09/05

    有没有TFT-LCD行业的同任啊?我现在做侧面分析时候,金属层在裂片的时候被拉伸了,不能看清真正的膜厚?谁能告诉我怎么处理这样的玻璃基板样品?
    x994zyh@163.com
    谢谢!!

0
    +关注 私聊

  • x994zyh

    第3楼2007/09/05

    楼主也是搞TFT-LCD的吧?能不能留下联络方式,互相讨论一下

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