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【分享】请教一个关于偏压的问题

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 电子枪偏压是不是调节束流的作用？电压一定，偏压过小，造成束流浪费，偏压大的话，束流也会比较大。但束流过大后，是不是束斑直径也会增大呢？

    双偏压从图上看是，在一个低电压时，突然增大偏压，使束流比较大，图像比较亮，也因此比较清晰，由此推断是增大了偏压，但是突然增大偏压会不会造成分辨率下降呢？
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