Frankc
第6楼2007/09/06
是分析高纯硅吗?多晶硅厂?
不用考虑ELEMENT 2,因为价格贵,维护成本高,性能没有优势。 高分辨可以分开干扰但灵敏度下降太多。现在,冷等离子技术和碰撞反应池技术可以达到相同的目的。
Thermo X ICPMS在半导体行业,晶园厂,超纯试剂,高纯材料等分析中没有市场,仪器性能比不过Agilent 和 PE.Agilent占70-80% 半导体分析市场.
附Si分析文献一篇.
Si wafer [url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp]ICPMS Analysis[/url]