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【讨论】低角度背散电子和大角度背散电子(YAG探头接收)成像的差别咋这么大呢?

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 我们有一台日立的超级SEM (Model S-5200)配了两个背散射电子探头, 一个是普通的背散探头, 另一个是YAG背散探头.从说明书上看YAG探头接收的背散电子出射角很小, 而普通的背散探头接收的背散电子出射方向与样品水平面的夹角要小. 我要问的问题是为什么不同角度的背散电子成像咋这么大.
    另一个问题是, JSM6700F SEM 它配了两个二次电子探头, 一个是Inlens探头, 另一个是叫LOW Detector低角度二次电子探头(LEI), 它不在光路内,即outlens类型的, 但它和其他场发射电镜的out-lens 二次电子探头成的象也有很大差别, 这是什么原因呢?
    请各位大侠百忙之中抽点空释释疑. 谢谢.
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  • wbslandy

    第1楼2007/08/31

    大家都很忙, 给自己顶一个!

0
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  • wbslandy

    第2楼2007/09/04

    这个问题好像问得很不地道, 以至没有人屑于回答啊!
    郁闷中!!!

0
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  • 共工

    第3楼2007/09/06

    帮您顶，不过建议您先观察以前的帖同题的子， 发贴人是ZEMB，大家回复得很详细，您的问题如果还不能解决的话，请让大家知道。

    wbslandy 发表:这个问题好像问得很不地道, 以至没有人屑于回答啊!
    郁闷中!!!

0
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  • wbslandy

    第4楼2007/09/14


    谢谢, 之前我已看过了,只是仍不明白高低位的背散探头接收的都是背散电子, 咋成象的效果差别这么大呢?

    RENXIN 发表:帮您顶，不过建议您先观察以前的帖同题的子， 发贴人是ZEMB，大家回复得很详细，您的问题如果还不能解决的话，请让大家知道。

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  • 共工

    第5楼2007/09/17

    个人认为是由于 YAG和普通的半导体接受效果差别很大， 搞化学的对YAG的性能应该很了解了。

    wbslandy 发表:
    谢谢, 之前我已看过了,只是仍不明白高低位的背散探头接收的都是背散电子, 咋成象的效果差别这么大呢?

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