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扫描电镜(SEM/EDS)
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【求助】S-3000N的beam current1 不能小于70的原因?
wangzhan
2007/09/02
私聊
扫描电镜(SEM/EDS)
我用的是日立S-3000N的SEM,前几天发现图像变得不清晰了,以前1-2万倍都不错的,现在4、5千倍都不行了。后来发现beam current1 在70左右,稍微调小一点就没有信号了,物镜光镧全部退出来也不行。请教各位有没有知道如何解决的?不胜感谢!
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semuser
第1楼
2007/09/05
物镜光镧全部退出来也不行,肯定电子束歪了,先调电子枪对中吧
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